潔凈室設計標準

　　ISO14644-1、GB50073-2001潔凈廠房標準規范

　　注：①每個采樣點應至少采樣3次;

　?、诒緲藴什贿m用于表征懸浮粒子的物理性、化學性、放射性及生命性;

　　③根據工藝要求確定1~2種粒徑;

　?、芨鞣N要求粒徑D的粒子最大允許濃度Cn由公式確定，要求的粒徑在0.1~5μm范圍，包括0.1μm及5μm。

　　式中：Cn——大于或等于要求粒徑的粒子最大允許濃度(pc/m3)。Cn是以四舍五入到相近的整數，有效位數不超過三位數。

　　N——潔凈度等級，數字不超出9，潔凈度等級整數之間的中間數可以按0.1為最小允許遞增量。

　　D——要求的粒徑(μm)。

　　0.1——常數，其量綱為μm。

　　美國聯邦標準